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型 号
VMS-2010F
VMS-3020F
VMS-4030F
工作台
金属台尺寸(mm)
404×228
500×330
606×466
玻璃台尺寸(mm)
260*160
350*250
450*350
运动行程(mm)
200×100
300×200
400×300
Z轴升降行程（mm）
150（特殊订购达400）
截面原点一致性误差(μm)
F型：E0≤20（Z轴升降行程每100mm）
X、Y、Z数显分辨力：0.5μm X、Y坐标示值误差：（2.5+L/100）μm(L为被测长度，单位：mm)
影像系统
F型
彩色千兆网络摄像机
变倍镜头倍率：0.58X~7.5X
视频倍率：27.4~351.3X（24"显示器）
物方视场（对角线）：14mm~1.4mm
表面光源与透射光源均用LED，亮度可调
建议放置台 载重要求≥350KG 尺寸（长×宽×高）1000×600×500（mm）
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