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参数/机型
VMS-6060H
VMS-6090H
VMS-0810H
VMS-1012H
VMS-1215H
工作台
X,Y轴行程(mm)
600 * 600
600 * 900
1208 * 885
1408 * 1085
1708 * 1285
Z轴行程(mm)
200调焦及辅助测量
玻璃台尺寸(mm)
640 * 770
640 * 1070
1280 * 985
1468 * 1185
1808 * 1385
工作气压(mm)
≥0.5MPa
数字测量系统
光栅尺分辨力：X、Y、Z轴0.0005
0.7~4.5×变焦镜头，总视频放大倍率为20~128×
X,Y轴马达运动速度
<300mm/s
Z轴马达运动速度
<50mm/s
仪器外形尺寸(L×W×H)
1500×1300×1510
1800×1300×1510
2170×2380×1560
2370×2580×1560
2570×2880×1560
仪器重量(Kg)
1281
1500
3260
3750
4520
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